一种激光加工蓝宝石面板的工艺及夹具

摘要

本发明公开了一种激光加工蓝宝石面板的工艺，将切割后的蓝宝石面板固定装夹在夹具上，采用皮秒激光器通过振镜扫描的方式对蓝宝石面板表面进行去除材料加工，所述皮秒激光器射出的激光能量设置在30-55W，激光频率设置在80--120KHz，激光光束移动的打标速度1000-1500mm/s，将激光光束聚焦后的焦点设置在蓝宝石面板待加工表面的上下0um-100um范围内，按照设定的加工轨迹参数操作皮秒激光器进行加工。本发明不需要冷却液、砂轮等耗材，节省了成本，环保高效。

主权项

一种激光加工蓝宝石面板的工艺，其特征在于：将切割后的蓝宝石面板固定装夹在夹具上，夹具和蓝宝石面板表面的水平度控制在10um以内，采用皮秒激光器通过振镜扫描的方式对蓝宝石面板表面进行去除材料加工，所述皮秒激光器射出的激光能量设置在30‑55W，激光频率设置在80‑‑120KHz，激光光束移动的打标速度1000‑1500mm/s，将激光光束聚焦后的焦点设置在蓝宝石面板待加工表面的上下0um‑100um范围内，按照设定的加工轨迹参数操作皮秒激光器进行加工。