| 发明名称 | 偏置电场调制的氧化物半导体异质结构、其制备方法和装置 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种偏置电场调制的全氧化物半导体异质结构，该半导体异质结构由驰豫型铁电单晶(PMN-PT)基片以及在其上交替生长的空穴型(p型)钙钛矿锰氧化物薄膜和电子型(n型)钙钛矿氧化物薄膜构成。本发明还提供了该半导体异质结构的制备方法和装置。由于驰豫型铁电单晶具有显著的逆压电效应，因此，获得的新型功能的所述半导体异质结构具有显著的偏置电场可调特性。 | ||
| 申请公布号 | CN102593191B | 申请公布日期 | 2015.03.04 |
| 申请号 | CN201110009450.3 | 申请日期 | 2011.01.17 |
| 申请人 | 中国科学院物理研究所 | 发明人 | 胡凤霞;王晶;陈岭;沈保根;孙继荣 |
| 分类号 | H01L29/96(2006.01)I;H01L21/34(2006.01)I | 主分类号 | H01L29/96(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京泛华伟业知识产权代理有限公司 11280 | 代理人 | 刘丹妮 |
| 主权项 | 一种偏置电场调制的全氧化物半导体异质结构，其特征在于，所述的半导体异质结构包括：驰豫型铁电单晶基片和形成于该基片上的全氧化物异质结构；其中，所述的驰豫型铁电单晶的化学通式为：(1‑y)Pb(Mg<sub>1/3</sub>Nb<sub>2/3</sub>)O<sub>3</sub>‑(y)PbTiO<sub>3</sub>，其中，y的范围是：0.2～0.4；其取向为(001)或各种斜切取向；所述的全氧化物异质结构由空穴型钙钛矿锰氧化物薄膜和电子型钙钛矿氧化物薄膜构成，并外延生长在驰豫型铁电单晶基片上。 | ||
| 地址 | 100190 北京市海淀区中关村南三街8号 | ||