机床单轴运动的几何误差的检测设备及其检测方法

摘要

本发明公开了机床单轴运动的几何误差的检测设备及其检测方法，该检测设备处理器、激光干涉仪、干涉镜组、反射镜组、支架以及固定平台，固定平台下部水平地设有滑动导轨，滑动导轨上设有垂直于滑动导轨且可沿滑动导轨滑动的Y向导轨，Y向导轨上设有垂直于Y向导轨且可沿Y向导轨滑动的X向导轨，X向导轨上设有垂直于X向导轨且可沿X向导轨滑动的Z向滑动平台；固定平台上设有第一光栅尺，X向导轨上设有第二光栅尺，Y向导轨上设有第三光栅尺，第一光栅尺、第二光栅尺及第三光栅尺均与处理器连接，反射镜组安装在Z向滑动平台上。本发明测量精度高且测量速度快，可广泛应用于机床单轴运动的几何误差检测领域中。

主权项

机床单轴运动的几何误差的检测设备，其特征在于，包括处理器、激光干涉仪、干涉镜组、反射镜组、用于安装干涉镜组的支架以及用于安装在机床单轴上的固定平台，所述固定平台下部水平地设有滑动导轨，所述滑动导轨上设有垂直于滑动导轨且可沿滑动导轨滑动的Y向导轨，所述Y向导轨上设有垂直于Y向导轨且可沿Y向导轨滑动的X向导轨，所述X向导轨上设有垂直于X向导轨且可沿X向导轨滑动的Z向滑动平台；所述固定平台上设有第一光栅尺，所述Y向导轨上设有第二光栅尺，所述X向导轨上设有第三光栅尺，所述第一光栅尺、第二光栅尺及第三光栅尺均与处理器连接，所述反射镜组安装在Z向滑动平台上；所述激光干涉仪发出的激光束被干涉镜组一分为二，其中一部分光束通过干涉镜组后照射到反射镜组上并被反射镜组反射回干涉镜组后从干涉镜组透射返回到激光干涉仪，另一部分光束直接经干涉镜组反射后返回到激光干涉仪。