发明名称 |
降低MOS芯片内阻的封装结构 |
摘要 |
本实用新型公开了一种降低MOS芯片内阻的封装结构,包括硅衬底,硅衬底的正面具有形成至少一个MOS管的第一源极、第一漏极和第一栅极,硅衬底的背面形成有对应漏极的盲孔,盲孔内和硅衬底的背面均铺设有一层金属层。该封装结构能够减少MOS芯片漏极的等效电阻的阻值;且通过在MOS芯片背面形成盲孔,有利于增强MOS芯片的强度,通过在盲孔内及MOS芯片背面形成金属层,能够大大提升MOS芯片的散热效果,降低导通时的功耗。 |
申请公布号 |
CN204189783U |
申请公布日期 |
2015.03.04 |
申请号 |
CN201420674177.5 |
申请日期 |
2014.11.12 |
申请人 |
华天科技(昆山)电子有限公司 |
发明人 |
肖智轶;万里兮;沈建树;黄小花;王晔晔;钱静娴;翟玲玲;杨力 |
分类号 |
H01L23/48(2006.01)I;H01L21/768(2006.01)I;H01L21/60(2006.01)I |
主分类号 |
H01L23/48(2006.01)I |
代理机构 |
昆山四方专利事务所 32212 |
代理人 |
盛建德;段新颖 |
主权项 |
一种降低MOS芯片内阻的封装结构,其特征在于:包括硅衬底(1),所述硅衬底的正面具有至少一个MOS管的源极(S)、漏极(D)和栅极(G),所述硅衬底的背面与所述漏极相对的位置形成有盲孔(2),所述盲孔内和所述硅衬底的背面均铺设有一层金属层(3)。 |
地址 |
215300 江苏省苏州市昆山市开发区龙腾路112号 |