发明名称 |
高電力レーザ光源からターゲット上への放射線のフォーカス誘導のためのビーム誘導系及びレーザ光源とそのようなビーム誘導系とを有するLPPX線ビーム源 |
摘要 |
ビーム誘導系(4)は、高電力レーザ光源(2)からターゲット(5)に向けた放射線(3)のフォーカス誘導に役立つ。ビーム誘導系(4)は、反射ビーム誘導構成要素として少なくとも1つのミラー(7)と、屈折ビーム誘導構成要素として放射線(3)に対して少なくとも部分的に透過性である少なくとも1つの透過構成要素(9)とを有する。少なくとも1つのミラー(7)及び少なくとも1つの透過構成要素(9)の配置は、少なくとも1つのミラー(7)のビーム誘導特性に対するビーム誘起変化が、少なくとも1つの透過構成要素(9)のビーム誘導特性に対するビーム誘起変化によって少なくとも部分的に補償されるようなものである。これは、ビーム誘導系のビーム誘導特性に対するビーム誘起変化が、レーザ光源からの放射線のフォーカス誘導に対して有害な効果を持たないビーム誘導系をもたらす。【選択図】図1 |
申请公布号 |
JP2015506565(A) |
申请公布日期 |
2015.03.02 |
申请号 |
JP20140552577 |
申请日期 |
2013.01.03 |
申请人 |
カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー |
发明人 |
ディンガー ウド |
分类号 |
H05G2/00;H01L21/027;H05H1/24 |
主分类号 |
H05G2/00 |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
|
地址 |
|