摘要 |
放射光放出半導体デバイスは、n型III−V族半導体材料を含む第1のベース領域、p型III−V族半導体材料を含む第2のベース領域、及び第1のベース領域と第2のベース領域との間に配置された多重量子井戸構造を含む。多重量子井戸構造は、少なくとも3つの量子井戸領域及び少なくとも2つのバリア領域を含む。量子井戸領域の3番目と量子井戸領域の2番目との間の正孔のエネルギー障壁は、量子井戸領域の2番目と量子井戸領域の1番目との間の正孔のエネルギー障壁よりも小さい。そうしたデバイスを形成する方法は、そうした多重量子井戸構造の層をエピタキシャル堆積させるステップ、並びに正孔のエネルギー障壁が多重量子井戸構造を横切って変化するように層の組成及び構成を選択するステップを含む。【選択図】 図1 |