发明名称 具有差动对的电容式感测系统;CAPACITIVE SENSING SYSTEM WITH DIFFERENTIAL PAIRS
摘要 一种电容式感测系统,包含二或更多个电容式感测器、一或多个AC电源以供电予该电容式感测器、以及一信号处理电路以处理来自该感测器之信号。该等感测器系成对配置,其中该一或多个AC电源被配置成以一交流电流或电压供电予一对感测器中之一第一感测器,该交流电流或电压与供予该对感测器中之一第二感测器之一电流或电压相位相差180度,且其中一对感测器提供一针对一单一量测距离数值之量测单元,该信号处理电路自该对感测器中之每一感测器接收一输出信号并产生一有关于该对感测器与靶材间平均距离之量测数值。
申请公布号 TW201508243 申请公布日期 2015.03.01
申请号 TW103134728 申请日期 2010.12.30
申请人 玛波微影IP公司 MAPPER LITHOGRAPHY IP B. V. 发明人 迪 包尔 古伊杜 DE BOER, GUIDO;凡 巴尔 强尼 珍妮斯 杰考伯斯 VAN BAAR, JOHNNY JOANNES JACOBUS;巴丁 考斯杜伯 帕布德 PADHYE, KAUSTUBH PRABODH;穆森 罗伯 MOSSEL, ROBERT;菲格 尼尔斯 VERGEER, NIELS;史丁柏龄克 史丁 威棱 贺曼 卡罗 STEENBRINK, STIJN WILLEM HERMAN KAREL
分类号 G01B7/02(2006.01);G03F7/20(2006.01) 主分类号 G01B7/02(2006.01)
代理机构 代理人 阎启泰林景郁
主权项
地址 荷兰 NL