侧向移动加热之长晶炉构造;CONSTRUCTION OF CRYSTAL GROWTH FURNACE FOR LATERAL MOBILE HEATING

摘要

本发明系有关于一种侧向移动加热之长晶炉构造，包括有一长晶炉本体，在该长晶炉本体内有一石英坩埚，再将一顶部加热器及一侧向加热器设置在该石英坩埚周缘，其中该顶部加热器对应于该石英坩埚的顶部，该侧向加热器对应于该石英坩埚的侧缘，将一动力元件连接该侧向加热器，用以控制该侧向加热器在长晶过程中在该石英坩埚周缘垂直移动，控制该石英坩埚的温度梯度变化，减缓矽熔汤由该石英坩埚内壁面开始结晶成长的缺失。