基板制造方法及基板制造装置

摘要

提供一种基板制造方法，系在支撑基板上形成用于形成厚金属图案之遮罩图案之方法。准备应形成第1线状图案、及比第1线状图案粗的第2线状图案之支撑基板。在支撑基板之应形成第1线状图案及第2线状图案的区域，多次重复进行使薄膜材料液滴化后弹着，并使弹着之薄膜材料硬化之步骤。用以形成第1线状图案之步骤的重复次数多于用以形成第2线状图案之步骤的重复次数。