具有垂直通道之半导体装置、包括该半导体装置之电阻式记忆体装置及制造该半导体装置之方法;SEMICONDUCTOR DEVICE HAVING VERTICAL CHANNEL, RESISTIVE MEMORY DEVICE INCLUDING THE SAME, AND METHOD OF MANUFACTURING THE SAME

摘要

本发明系提供一种半导体装置、包括该半导体装置之电阻式记忆体装置，及制造该半导体装置之方法。该半导体装置包括一支柱，其实质上从一半导体基板垂直扩展，该支柱包括一内部部分及包围该内部部分之一外部部分。一接面区域在该垂直支柱之上方区域及下方区域形成，及一闸极包围该支柱。该支柱之内部部分包括一半导体层，其具有一晶格常数大于该支柱之外部部分的晶格常数。