检测装置;INSPECTING APPARATUS

摘要

本发明涉及电路基板的检测装置，提供了一种能一同检测出电火花和部分放电的结构。恒定电流源向检测物件的配线图形供给恒定的电流。电压测定部测定配线图形的电压。正常时电压斜度算出部，在电压的测定结果中，基于小于所定的电压斜度算出阈值的测定结果，获得正常时的电压斜度。判定部，在电压的测定结果中，通过将第一阈值以上且小于第二阈值的范围内的测定结果(斜度恒定期间中的测定结果)与基于上述正常时的电压斜度的电压推算值进行比较，判定所述电压斜度是否恒定。并且，判定部基于电压斜度恒定与否来判定电路基板的不良与否。