用于束平滑化的磁场波动;MAGNETIC FIELD FLUCTUATION FOR BEAM SMOOTHING

摘要

可能将用于将离子植入在工件上的离子束的时间平均离子束轮廓平滑化，以降低杂讯、尖波、及尖峰等，并改善剂量均匀性。可能将辅助磁场装置，诸如，电磁铁，沿着离子束路径放置，并可能由周期讯号驱动以产生波动磁场，以平滑化该离子束轮廓(亦即，束电流密度轮廓)。该等辅助磁场装置可能位于该离子束之该宽度及该高度外侧，并可能产生接近该离子束之该中心最强的不均匀波动磁场，离子的最高浓度可能位于该中心。该波动磁场可能导致该离子束轮廓形状连续地改变，从而将杂讯平均在时间上。