电感结构及其制作方法;INDUCTOR STRUCTURE AND MANUFACTURING METHOD THEREOF

摘要

一种电感结构的制作方法包含下列步骤：提供具有复数个焊垫的基板。形成具有复数个保护层开口的保护层于基板与焊垫上，使焊垫分别由保护层开口露出。形成导电层于焊垫与保护层上。形成图案化的第一光阻层于导电层上，使导电层由复数个第一光阻层开口露出。分别形成复数个铜块于第一光阻层开口中的导电层上。形成图案化的第二光阻层于第一光阻层上，使铜块的至少一者由第二光阻层开口与对应的第一光阻层开口露出。依序形成扩散阻障层与抗氧化层于露出第二光阻层开口的铜块上。去除第一光阻层、第二光阻层及未被铜块覆盖的导电层。