发明名称 |
用于极化控制之系统,方法及装置;SYSTEM, METHOD AND APPARATUS FOR POLARIZATION CONTROL |
摘要 |
本发明揭示一种极化控制器件,其包含:一第一波板,其具有一第一表面轮廓;及一第二波板,其具有与该第一表面轮廓互补之一第二表面轮廓。该第一波板之光轴正交于该第二波板之光轴。该第一波板及该第二波板经定位以对准该第一表面轮廓与该第二表面轮廓且跨越该极化控制器件维持一恒定厚度。该第一波板及该第二波板可将极化旋转作为跨越一光学系统之一光瞳平面之横向位置之一连续函数来控制。该第一波板及该第二波板分开一充分小之距离以便将波前畸变限制在一选定位准以下。 |
申请公布号 |
TW201508341 |
申请公布日期 |
2015.03.01 |
申请号 |
TW103119793 |
申请日期 |
2014.06.06 |
申请人 |
克莱谭克公司 KLA-TENCOR CORPORATION |
发明人 |
伊凡 马立夫 MALEEV, IVAN;派提波 唐诺 PETTIBONE, DONALD |
分类号 |
G02B27/28(2006.01);G01N21/21(2006.01) |
主分类号 |
G02B27/28(2006.01) |
代理机构 |
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代理人 |
陈长文 |
主权项 |
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地址 |
美国 US |