局部加热之多区域基材支撑座;LOCALLY HEATED MULTI-ZONE SUBSTRATE SUPPORT

摘要

本揭示案之实施例提供具有方向角温度控制的静电夹具(ESC)。在一个实施例中，静电夹具包含一绝缘底板、一介电层，该介电层设置于该绝缘底板上，该介电层具有一基材支撑座表面、一电极组件，该电极组件设置于该绝缘底板及该基材支撑座表面间、及复数个加热元件，该等加热元件耦合至该绝缘底板，该等加热元件经配置以方位角地控制跨过一基材表面之一温度剖面。