用于标线检查之介观缺陷侦测;MESOSCOPIC DEFECT DETECTION FOR RETICLE INSPECTION

摘要

在一些实施例中，一方法及/或系统可包含侦测光罩中之缺陷。该方法可包含获取一第一晶粒之一第一影像。该方法可包含获取一第二晶粒之一第二影像。在一些实施例中，该方法可包含将该第一影像及该第二影像各自划分为许多第一部分及第二部分。该方法可包含减小该等第一部分及该等第二部分之大小中的一或多个差异。在一些实施例中，该方法可包含判定自该等对应之第一部分与第二部分之间之一影像强度导出之一函数中之一差异。该方法可包含加总在该等对应之第一部分与第二部分之间之该函数中的该等差异。该方法可包含侦测在该第二晶粒中之介观尺度缺陷。