用来侦测电浆处理腔室中之电浆不稳定性的被动电容耦合静电探针装置

主权项

一种在基板处理期间侦测电浆处理系统之处理腔室内的电浆不稳定性的装置，包含：一探针装置，其中将该探针装置设于该处理腔室之一表面上，且配置成测量至少一电浆处理参数，其中该探针装置包含一面向电浆感测器；以及一测量电容，其中该面向电浆感测器系耦接至该测量电容之一第一平板；以及一侦测装置，该侦测装置系耦接至该测量电容之一第二平板，其中将该侦测装置配置成使流过该测量电容之一感应电流转换成一数位信号组，处理该数位信号组以侦测该电浆不稳定性。