薄膜电晶体及使用该薄膜电晶体之显示阵列基板;THIN FILM TRANSISTOR DISPLAY ARRAY SUBSTRATE USING SAME

摘要

本发明提供一种薄膜电晶体。该薄膜电晶体包括：一闸极；一覆盖该闸极之闸极绝缘层；在该闸极绝缘层上对应该闸极处的沟道层；一覆盖该沟道层之蚀刻阻挡层，该蚀刻阻挡至少包括一有机阻挡层及与该有机阻挡层层叠设置的硬遮罩层，该有机阻挡层为经固化处理之透明有机材料层，该硬遮罩层形成在该有机阻挡层背离该沟道层之表面上，用于增强该有机阻挡层之硬度；贯穿该蚀刻阻挡层之二接触孔；及经由该二接触孔与该沟道层相连之源极与汲极。本发明还提供一种使用该薄膜电晶体的显示阵列基板。