| 发明名称 |
保管设备及保管方法;STORAGE FACILITY AND STORAGE METHOD |
| 摘要 |
本发明提供一种保管设备及保管方法，该保管设备具有监视复数个收纳部之非活性气体的供给状态并控制复数个供给量调节装置的控制装置。又控制装置会将复数个收纳部分成复数个监视区域并监视复数个收纳部之非活性气体的供给状态，且控制复数个供给量调节装置而使朝属于复数个监视区域的每一个之收纳部之非活性气体的供给状态可满足预定之设定限制条件。 |
| 申请公布号 |
TW201508855 |
申请公布日期 |
2015.03.01 |
| 申请号 |
TW103116824 |
申请日期 |
2014.05.13 |
| 申请人 |
大福股份有限公司 DAIFUKU CO., LTD. |
发明人 |
高原正裕 TAKAHARA, MASAHIRO;上田俊人 UEDA, TOSHIHITO |
| 分类号 |
H01L21/673(2006.01);H01L21/02(2006.01) |
主分类号 |
H01L21/673(2006.01) |
| 代理机构 |
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代理人 |
恽轶群陈文郎 |
| 主权项 |
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| 地址 |
日本 JP |
