蒸镀装置

主权项

一种蒸镀装置，系包括：一本体；至少二坩埚，系设置于该本体内部；至少二帆形蒸镀喷嘴，系分别设置于该坩埚上方，该帆形蒸镀喷嘴系具有一入口端及一出口端，该入口端系与该坩埚连接，该入口端之断面系为一四边形，该出口端之断面系为一扇形；其中该二帆形蒸镀喷嘴系呈一字型排列配置，该二出口端之扇形断面尖端系分别对准另一帆形蒸镀喷嘴。