发明名称 基板处理装置用晶舟之部分
摘要
申请公布号 TWD166332 申请公布日期 2015.03.01
申请号 TW102306236 申请日期 2013.09.18
申请人 日立国际电气股份有限公司 发明人 髙木康佑;前田喜世彦;浦野裕司;松本尙树;小前泰彰
分类号 15-99 主分类号 15-99
代理机构 代理人 林志刚 台北市中山区南京东路2段125号7楼
主权项
地址 日本