提供流体用于浸液微影的装置及方法

主权项

一种用于在一浸液微影系统之中从介于镜片与基材之间的空间之中回收流体的装置，该装置系包含有：一内部部件，其包含一个镜片开口以容置该镜片的一个部位，该镜片被定位成与该基材分开，且该镜片和基材藉由该空间分开以将流体基收于镜片和基材之间的空间中；一外部部件，其被配置在该内部部件周围，该外部部件包括有一个多孔构件，该多孔构件以流体的方式与该空间相连结并且与一流体回收出口相连结，以将流体从该空间处经由该多孔构件抽到该流体回收出口；以及一压力控制系统，其系以流体的方式与该多孔构件相连结，以便将用于从空间抽出流体通过多孔构件的压力维持成与该多孔构件的一个起泡点相同或低于多孔构件的起泡点，其中，该内部部件具有第一开口和第二开口，第一开口配置于一最后光学元件之一侧且供给前述液体，第二开口配置于该最后光学元件之另一侧且回收该液体，藉由该第一开口之供给与该第二开口之回收，该液体横越该镜片流动。