| 主权项 |
一种太阳能电池制造程序用湿式蚀刻机，包含：一程序槽，储存有一蚀刻液，用以对多数的矽晶基板进行蚀刻；一缓冲槽，储存有该蚀刻液，其中该缓冲槽中的该蚀刻液被一泵抽取至该程序槽中，并接收该程序槽中过量的该蚀刻液；一第一自动泵，连通于该缓冲槽，用以排放该缓冲槽中的该蚀刻液；一第二自动泵，连通于该缓冲槽，用以将新的一蚀刻液添加入该缓冲槽中；及一控制器，耦接于该第一自动泵及该第二自动泵，用以控制该第一自动泵及该第二自动泵，藉以控制添加入该缓冲槽之该新的蚀刻液的流量；以及排放出该缓冲槽的该蚀刻液的流量，其中程序槽包含：一处理槽，用以接收来自该缓冲槽的该蚀刻液；及一溢流槽，用以接收该处理槽之过量的该蚀刻液，并连通于该缓冲槽，以使该过量的该蚀刻液流至该缓冲槽。
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