发明名称 影像处理装置及电脑程式
摘要
申请公布号 TWI475187 申请公布日期 2015.03.01
申请号 TW100138088 申请日期 2011.10.20
申请人 日立全球先端科技股份有限公司 发明人 丰田康隆;长谷川昇雄;松冈良一;山口敦子
分类号 G01B15/04;H01L21/66 主分类号 G01B15/04
代理机构 代理人 林志刚 台北市中山区南京东路2段125号7楼
主权项 一种影像处理装置,系具备:检测部,用以在由影像抽出之轮廓线资料上,检测出特定形状之图案;及检查部,其针对该被检测出之特定形状之图案进行检查;其特征为:上述检测部,系检测上述轮廓线资料之中朝至少3方向分歧之缘部之分歧点;上述检查部,系针对朝上述3方向分歧之缘部之中,将包含图案之形成用缘部以外的缘部之区域设定于影像;依据上述区域内之亮度而取得信号波形,该图案系用以构成半导体装置之电路者。
地址 日本