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经营范围
发明名称
影像处理装置及电脑程式
摘要
申请公布号
TWI475187
申请公布日期
2015.03.01
申请号
TW100138088
申请日期
2011.10.20
申请人
日立全球先端科技股份有限公司
发明人
丰田康隆;长谷川昇雄;松冈良一;山口敦子
分类号
G01B15/04;H01L21/66
主分类号
G01B15/04
代理机构
代理人
林志刚 台北市中山区南京东路2段125号7楼
主权项
一种影像处理装置,系具备:检测部,用以在由影像抽出之轮廓线资料上,检测出特定形状之图案;及检查部,其针对该被检测出之特定形状之图案进行检查;其特征为:上述检测部,系检测上述轮廓线资料之中朝至少3方向分歧之缘部之分歧点;上述检查部,系针对朝上述3方向分歧之缘部之中,将包含图案之形成用缘部以外的缘部之区域设定于影像;依据上述区域内之亮度而取得信号波形,该图案系用以构成半导体装置之电路者。
地址
日本
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