新颖化合物、感放射线性组成物、硬化膜及其形成方法

主权项

一种如下式(1)所表示之化合物，(式(1)中，R1是碳数为1~12的烷基、碳数为4~20的脂环式烃基、碳数为1~6的卤化烷基、2-呋喃基、2-糠基、2-噻吩基、2-噻吩甲基、苯基或萘基，该苯基或萘基的部分或全部氢原子可以被碳数为1~6的烷基、碳数为1~6的烷氧基或卤素原子取代；R2和R3各自独立地是碳数为1~12的烷基或碳数为4~20的脂环式烃基；R4是脂环式烃基，其氢原子的部分或全部可以被碳数为1~12的烷基取代；R5和R6各自独立地是碳数为1~12的烷基或碳数为1~12的烷氧基，n为0~3的整数，m为0~3的整数)。