基板运送装置

主权项

一种基板运送装置，包含：浮升平台，包含混杂设置多数喷出口与多数抽吸口之第1浮升区域；第1供气部，为藉由自该喷出口喷出之气体压力使被处理基板浮升，对该喷出口供给正压气体；抽吸排气部，为藉由于该抽吸口吸入气体之抽吸力控制该基板浮升高度，赋予该抽吸口负压；运送机构，进行运送，俾将在该浮升平台上浮起至空中之该基板加以固持并使其通过该第1浮升区域；第2供气部，为对该抽吸口中进行扫除，对该抽吸口供给正压气体；及面状吸附部，以在使该第2供气部作动之期间内，自上包覆该第1浮升区域一部分或全部，吸附混在自该抽吸口喷出之气体中的异物；其中该面状吸附部在该浮升平台上与该基板相同可藉由该运送机构运送之，在该第2供气部作动开始前或开始后马上将其携入至该第1浮升区域上，在该第2供气部作动结束后自该第1浮升区域上携出。