薄膜电晶体及使用该薄膜电晶体的显示阵列基板的制造方法;MANUFACTURING METHOD OF THIN FILM TRANSISTOR, AND DISPLAY ARRAY SUBSTRATE USING SAME

摘要

本发明提供一种薄膜电晶体的制造方法，该制造方法包括：于一基板上形成闸极及覆盖该闸极的闸极绝缘层；在该闸极绝缘层上对应闸极处形成沟道层，且于该沟道层上涂布蚀刻阻挡层；对该蚀刻阻挡层进行高温硬烤处理；于该蚀刻阻挡层上涂布光阻层；图案化该光阻层，显影出二空导孔；以该图案化光阻层做遮罩蚀刻该蚀刻阻挡层至该沟道层以形成二接触孔；移除剩余的光阻层；及于该二接触孔处形成源极与汲极。