层分离设备;LAYER SEPARATING APPARATUS

摘要

本发明的层分离设备包含：腔室，具有内部空间且在其上壁上设有视窗；雷射辐射单元，经配置以通过所述视窗将雷射光束辐射到所述内部空间上；光源感测器，经配置以朝向所述内部空间中所设置的装置基底发射光且接收从其反射的所述光；显示单元，经配置以显示从所述光源感测器测量的光接收值；以及基底传递板，经配置以在所述腔室的所述内部空间中支撑所述装置基底以在雷射光束辐射制程期间传递所述装置基底以在所述视窗下方滑动且在已完成所述雷射光束辐射制程后传递所述装置基底以在所述光源感测器下方滑动。