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一种氮化铝静电吸盘之异质叠层共烧陶瓷制备方法，该方法系包含以下步骤：(A)提供以刮刀成型之氮化铝生片后，进行落料，其中该氮化铝生片之厚度为0.4mm至0.8mm，形成第一层氮化铝生片；(B)形成第二层金属电极，该金属电极系以该第一层氮化铝生片之一面进行金属网版印刷，其中该金属之油墨配方主成分以高熔点之金属为主；(C)提供第三层氮化铝生片之一面叠层于该第二层之金属电极上；(D)以低温低压方式将第一层氮化铝生片、第二层金属电极及第三层氮化铝生片之异质陶瓷层压成型；(E)层压成型之异质陶瓷以一烧结温度曲线进行共烧，形成一异质共烧陶瓷结构，藉由调控氮化铝生片之厚度与金属电极之金属材料，搭配经设计之烧结温度曲线，制得氮化铝静电吸盘之异质叠层共烧陶瓷，可减少金属电极与氮化铝陶瓷之间的烧结收缩比例差异，进而提升金属电极与氮化铝生片之间的界面强度与附着性。 |
