发明名称 |
Blitzlampe mit einer Zündvorrichtung |
摘要 |
<p>Die Erfindung betrifft eine Blitzlampe mit einer Zündvorrichtung zur Belichtung von Substraten, wobei die Blitzlampe ein langgestrecktes Entladungsrohr mit zwei Elektroden umfasst, welche im Entladungsrohr jeweils am Ende des Entladungsrohrs angeordnet und mit einer Stromzuführung verbunden sind, wobei das Entladungsrohr außen von einem zum Entladungsrohr beabstandeten Mantelrohr umgeben ist, wodurch ein Ringspalt zur Aufnahme eines flüssigen Kühlmediums zwischen dem Mantelrohr und dem Entladungsrohr ausgebildet ist, wobei die Zündvorrichtung zum Anlegen einer Zündspannung außerhalb des Entladungsrohrs angeordnet ist. Um eine externe Zündung einer wassergekühlten Blitzlampe in einer Vakuumkammer zu erzielen, weist die Zündvorrichtung ein Zündhilfsmittel auf, das in direktem Kontakt mit dem Kühlmedium im Ringspalt zwischen dem Mantelrohr und dem Entladungsrohr angeordnet ist.</p> |
申请公布号 |
DE102013109171(A1) |
申请公布日期 |
2015.02.26 |
申请号 |
DE201310109171 |
申请日期 |
2013.08.23 |
申请人 |
VON ARDENNE GMBH |
发明人 |
GROSS, HARALD;HAASEMANN, GEORG;WILLKOMMEN, UDO;MIRRING, ENNO;LEUPOLD, JAN |
分类号 |
H01J61/54;G21K5/04;H01J61/34;H01J61/52 |
主分类号 |
H01J61/54 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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