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<p>Anordnung, aufweisend eine Vakuumprozesskammer; ein stabförmiges Element (4) zum Heizen in der Vakuumprozesskammer; eine Durchführung in der Wand der Vakuumprozesskammer zum Aufnehmen des stabförmigen Elementes (4) und eine Vorrichtung zum thermischen Schutz der Durchführung, wobei die Vorrichtung innerhalb der Vakuumprozesskammer auf dem stabförmigen Element (4) angeordnet ist, wobei die Vorrichtung aus scheibenförmigen Kühlelementen (1, 2) mit Aussparungen (3) und aus Verbindungselementen (5) gebildet ist, wobei jeweils zwei Kühlelemente (1, 2) der scheibenförmigen Kühlelemente an deren Rändern mittels eines Verbindungselementes (5) der Verbindungselemente verbunden sind, wobei das Verbindungselement (5) abgewinkelt und federnd ausgeführt ist, das Verbindungselement (5) einen Winkelscheitel aufweist und das Verbindungselement (5) die zwei mittels des Verbindungselementes (5) verbundenen scheibenförmigen Kühlelemente (1, 2) zueinander zumindest in einem ersten Winkel, der spitzwinklig ist, und in einem zweiten Winkel, der recht- oder stumpfwinklig ist, hält, wobei das Verbindungselement (5) in dem ersten Winkel belastet und in dem zweiten Winkel entlastet ist, wobei mindestens zwei der scheibenförmigen Kühlelemente (1, 2) jeweils eine Aussparung (3) zum Festklemmen auf dem stabförmigen Element (4) aufweisen, wobei die Aussparung (3) eine Mitte aufweist, und der Abstand beidseitig des Winkelscheitels des Verbindungselementes (5) zu den Mitten der Aussparungen (3) der zwei der scheibenförmigen Kühlelemente (1, 2) gleich ist, und wobei die Aussparung (3) eine Form und Größe derart aufweist, dass die zusammengedrückt in dem ersten Winkel auf das stabförmige Element (4) aufgesteckten und nachfolgend entlasteten zwei der scheibenförmigen Kühlelemente (1, 2) auf dem stabförmigen Element (4) bei dem Entfalten festklemmen.</p> |
