静圧気体ベアリングのための制限器及び流体リーク制限器の製造方法

摘要

本発明は、サイズ及び寸法許容差によらず、気体流量がその内部区分の変形によって調整されるように一定流量を確保とすることのできる静圧気体ベアリングのための制限器（１６、１７）に関する。更に、目的の気体流量値を確保する静圧気体ベアリングのための制限器の製造を確実とする方法が提供される。