直接組立て用のダマシンテンプレートおよびナノ要素の転写

摘要

【課題】基板を横切って延びる下地導電層上に配置された二次元パターニングされた隆起金属フィーチャーを有するダマシンテンプレートを提供。【解決手段】当該テンプレートは、全体的に地形的に平坦であり、パターン化された導電性フィーチャーは、ナノスケールの回路やセンサにナノ要素の組み立てのためのミクロスケールとナノスケールのパターンを確立する。当該テンプレートは、化学機械研磨により微細加工技術を用いて形成されている。これらのテンプレートは、電気泳動を含む様々な指向のアセンブリ技術と互換性があり、連続運転サイクルにおいて、本質的に１００％の効率で組立及びナノ要素の転写を提供。当該テンプレートは、最小限または全く損傷のない、パターン化されたナノ要素の何千回もの転写に繰り返し使用でき、転写処理サイクルの間には、中間のプロセスが含まれていない。当該組立体および転写プロセスは、低コスト、デバイスの高速製造に適している。【選択図】図１Ｄ