| 摘要 |
【解決手段】ターゲット上のそれぞれの場所に複数の放射ビームをそれぞれ投影するように構成された露光装置である。複数の放射ビームは、複数のスポット露光を用いて所望のドーズパターンを形成し、各スポット露光のドーズ分布内の特徴点の公称位置は、第１グリッドを規定する点の上に置かれる。露光装置は、ターゲットを所望のドーズパターンに露光するために複数の放射ビームのそれぞれについてターゲット強度値を計算する。この計算は、所望のドーズパターンのラスタ化表現を入力として使用する。ラスタ化表現は、第２グリッド上の複数の点のそれぞれに規定されるドーズ値を含む。第１グリッドおよび第２グリッドは同一のジオメトリを有する。露光装置は、露光装置を制御してターゲット強度値を持つビームを放出させるように構成されたコントローラを有するか、またはコントローラからデータを提供される。【選択図】図８ |
