| 摘要 |
Eine Schutzeinrichtung (100) enthält eine Innen-Schutzeinrichtung (120), die eine Umfangswand und eine vordere Abschlusswand an einer Seite des vorderen Endes derselben aufweist, sowie eine röhrenförmige Außen-Schutzeinrichtung (110), die die Innen-Schutzeinrichtung (120) umschließt. In einer Umfangswand (112) der Außen-Schutzeinrichtung (110) ist eine Vielzahl äußerer Einleitöffnungen (170), über die ein außenliegender Teil der Außen-Schutzeinrichtung (110) mit einer Gasabscheidekammer in Verbindung steht, in gleichmäßigen Abständen in einer Umfangsrichtung ausgebildet. Die äußeren Einleitöffnungen (170) sind an Positionen ausgebildet, und die näher an der Seite des vorderen Endes liegen als an Positionen, an denen innere Einleitöffnungen der Innen-Schutzeinrichtung (120) ausgebildet sind. Die äußeren Einleitöffnungen (170) erstrecken sich in der Umfangsrichtung der Umfangswand (112) und sind in Form von Querlöchern ausgebildet, bei denen Öffnungslängen in der Umfangsrichtung größer sind als Öffnungslängen in der Richtung senkrecht zu der Umfangsrichtung. |
