ウエハ形状物の表面を処理する装置

摘要

【解決手段】ウエハ形状物を処理する装置は、密閉型処理チャンバを備える。密閉型処理チャンバは、気密エンクロージャを提供するハウジングと、密閉型処理チャンバ内に設置される回転チャックであって、回転チャック上に載置されるウエハ形状物を保持するように構成される回転チャックと、密閉型処理チャンバ内に配置される内側カバーと、を備える。内側カバーは、回転チャックが密閉型処理チャンバの外壁と連通する第１の位置と、回転チャックに隣接する密閉型処理チャンバの内表面に対して内側カバーをシールして、気密な内部処理チャンバを規定する第２の位置との間を移動可能である。【選択図】図１