| 摘要 |
<p>Es wird ein mikromechanischer Sensor mit einem eine Haupterstreckungsebene aufweisenden Substrat und einem beweglichen Element vorgeschlagen, wobei das bewegliche Element um eine zur Haupterstreckungsebene im Wesentlichen parallele Drehachse aus einer Ruhelage in eine Auslenkposition verschwenkbar ist, wobei das bewegliche Element gegenüber der Drehachse eine asymmetrische Massenverteilung aufweist, sodass in Abhängigkeit einer zur Haupterstreckungsebene im Wesentlichen senkrecht orientierten Kraft auf das bewegliche Element eine Auslenkungsbewegung des beweglichen Elements in Form einer Schwenkbewegung um die Drehachse erzeugt wird, wobei der mikromechanische Sensor eine Dämpfungsstruktur mit einem Dämpfungselement aufweist, wobei das Dämpfungselement um die Drehachse verschwenkbar ist,–wobei das Dämpfungselement an dem beweglichen Element drehbeweglich angebunden ist, oder–wobei das Dämpfungselement mit dem beweglichen Element integriert ist.</p> |
