发明名称 |
フレキシブル薄膜磁気センサ素子の使用方法 |
摘要 |
本発明の課題は、電気機械及び磁気軸受におけるフレキシブル薄膜磁気センサ素子の使用方法を提供し、このフレキシブル薄膜磁気センサ素子を、空隙幅を実質的に制限することなく空隙に配置することができるようにすることである。この課題は、少なくとも1つのフレキシブル薄膜磁気センサ素子の使用方法において、前記少なくとも1つのフレキシブル薄膜磁気センサ素子は、空隙内において、電磁エネルギ変換器及び磁気機械エネルギ変換器の主要要素の少なくとも1つの上又は側に、非平面表面上に取り付けられており、前記空隙内の磁束密度を測定するために、及び/又は、電磁エネルギ変換器及び磁気機械エネルギ変換器を制御及び/又は監視するために、空隙内の前記主要要素の少なくとも1つの前記非平面表面を、少なくとも部分的に覆っている、ことを特徴とする少なくとも1つのフレキシブル薄膜磁気センサ素子の使用方法によって解決される。 |
申请公布号 |
JP2015505957(A) |
申请公布日期 |
2015.02.26 |
申请号 |
JP20140543869 |
申请日期 |
2012.11.28 |
申请人 |
ライプニッツ−インスティトゥートフュア フェストケルパー− ウント ヴェルクシュトフフォルシュング ドレスデン エー ファオLeibniz−Institut fuer Festkoerper− und Werkstoffforschung Dresden e.V.;テヒニッシェ ウニヴェルジテート ドレースデンTechnische Universitaet Dresden |
发明人 |
ファルク バール;ヘンリー バート;ヴィルフリート ホーフマン;デニス マカロフ;ミヒャエル メルツァー;インゴルフ メンヒ;マーティン オッパーマン;オリヴァー ゲー. シュミット;トーマス ツェアナ |
分类号 |
G01R33/07;H01F10/14;H01L43/06;H01L43/08 |
主分类号 |
G01R33/07 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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