懸濁液プラズマ溶射プロセスにおいてシュラウド付きプラズマ溶射又はシュラウド付き液体懸濁液噴射を利用するためのシステム及び方法

摘要

基板上に液体懸濁液から溶射コーティングを施すためのシステム及び方法が開示される。開示されるシステム及び方法は、プラズマを発生させるための溶射トーチと、プラズマ放出物を提供するために、サブミクロンの粒子を有する液体懸濁液の流れをプラズマに配送する液体懸濁液配送サブシステムとを備える。液体懸濁液配送サブシステムは、プラズマ放出物を部分的に又は完全に囲む不活性又は反応性のガス・シースを提供することが可能な、インジェクタ又はノズルを備える。また、シースは、液体懸濁液の噴射を隔離するために使用することもできる。また、ガス・アシストの流れが、懸濁液噴射箇所にて又はその付近にて採用され得る。シュラウド、シース、又はガス・アシストの技法は、プラズマ放出物内に巻き込まれたサブミクロンの粒子を保持し、プラズマ放出物中への周囲ガスの巻き込みを実質的に防止し得る。液体懸濁液配送サブシステムは、軸方向噴射システム、径方向内部噴射システム、又は外部径方向噴射システムとして構成することが可能である。