发明名称 PROCESS FOR MAKING MASKS PHOTOGRAPHICALLY
摘要
申请公布号 US3567447(A) 申请公布日期 1971.03.02
申请号 USD3567447 申请日期 1967.07.03
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP. 发明人 NIRMAL CHAND
分类号 G03C5/315;G03C5/40;G03F1/12;(IPC1-7):G03C5/00 主分类号 G03C5/315
代理机构 代理人
主权项
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