VERFAHREN ZUM HERSTELLEN EINER MEMS-VORRICHTUNG UND MEMS-VORRICHTUNG

摘要

Ein Verfahren zum Herstellen einer MEMS-Vorrichtung umfasst ein Bereitstellen eines Hohlraums innerhalb einer Schicht, die zu einer Opferschicht benachbart ist. Der Hohlraum erstreckt sich zu der Opferschicht und umfasst einen Kapillarschlitz, der in die Schicht ragt. Die Opferschicht wird abgetragen, indem die Opferschicht einem Ätzmittel ausgesetzt wird, das durch den Hohlraum eingeführt wird.