发明名称 一种宽带隙肖特基二极管氢气传感器芯体
摘要 本实用新型涉及一种氢气传感器芯体,尤其涉及一种宽带隙肖特基二极管氢气传感器芯体。本实用新型提供了一种宽带隙肖特基二极管氢气传感器芯体,依次包括基片、介质层和氢气敏感层,所述介质层为二氧化铪薄膜。该管氢气传感器芯体的的响应时间小于20s,能够检测得氢气浓度下限为50ppm,表明其在氢气传感器领域具有潜在的应用价值。
申请公布号 CN204177765U 申请公布日期 2015.02.25
申请号 CN201420651509.8 申请日期 2014.11.04
申请人 中国电子科技集团公司第四十八研究所 发明人 陈浩;谢贵久;景涛;曹勇全;陈伟;龚星;袁云华;靳建军
分类号 G01N27/414(2006.01)I 主分类号 G01N27/414(2006.01)I
代理机构 长沙正奇专利事务所有限责任公司 43113 代理人 马强
主权项 一种宽带隙肖特基二极管氢气传感器芯体,依次包括基片(1)、介质层(2)和氢气敏感层(3),其特征在于:所述介质层(2)为二氧化铪薄膜。
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