用于保持热预算稳定的加热方法

摘要

本发明公开了一种用于保持热预算稳定的加热方法，通过在主工序后插入一个虚拟工序，使得整个加热工艺的总时间保持不变，有利于保持热预算稳定，进一步有利于器件性能维持稳定。

主权项

一种用于保持热预算稳定的加热方法，包括：升温，将反应炉内的温度从第一温度上升至第二温度；主工序步骤，用于对晶片处理形成薄膜，占用第一时间T1；虚拟工艺步骤，占用第二时间T2；降温，将反应炉内的温度从第二温度下降至第一温度；其特征在于，所述第一时间和第二时间之和为一固定常数，所述固定常数依据主工序成膜厚度控制而确定。