激光加工装置

摘要

一种用于制作导光板的激光加工装置，包括激光发生装置、第一棱镜、光功率侦测装置及处理模块。激光发生装置用于产生激光光束。第一棱镜的横截面形状为等腰直角三角形，其斜边对应的面为第一入射出射面、两个直角边对应的内侧面分别为第一和第二反射面，第一或第二反射面的外侧面设置有亚波长光栅，亚波长光栅用于使激光光束发生衍射以产生衍射光束。光功率侦测装置用于检测衍射光束的光功率值并发送出去。处理模块分别与激光发生装置和光功率侦测装置电连接，用于接收光功率侦测装置检测的光功率值并根据该光功率值计算出需补强的光功率值，并发送增强激光能量的指令至激光发生装置。

主权项

一种用于制作导光板的激光加工装置，其包括：激光发生装置，用于产生激光光束；第一棱镜，所述第一棱镜的横截面形状为等腰直角三角形，所述第一棱镜横截面的斜边对应的面为第一入射出射面、两个直角边所对应的内侧面分别为第一反射面和第二反射面，所述第一棱镜具有一设置于所述第一反射面或第二反射面的外侧面的亚波长光栅结构，所述激光光束自所述第一入射出射面垂直入射至所述第一棱镜，并经所述第一反射面和第二反射面反射后，自所述第一入射出射面垂直出射，所述亚波长光栅用于使部分所述激光光束发生衍射以产生衍射光束；光功率侦测装置，所述光功率侦测装置用于实时撷取自所述亚波长光栅出射的衍射光束并检测所述衍射光束的光功率值，并将检测所得的光功率值发送出去；及处理模块，所述处理模块分别与所述激光发生装置和光功率侦测装置电连接，所述处理模块用于接收所述光功率侦测装置检测到的光功率值并根据所侦测的光功率值计算得出需补强的光功率值，并发送增强激光能量的指令至所述激光发生装置。