一种真空机台的真空反应腔及真空机台

摘要

本发明提供一种真空机台的真空反应腔及真空机台，该真空反应腔包括反应腔体、承载基板、以及观测窗；该观测窗包括用于观测操作的透明观测玻璃以及用于扩大透明观测玻璃的观测视角的视角扩大部件。本发明还提供一种真空机台，本发明的真空机台的真空反应腔及真空机台易于观测操作，从而提高了生产效率，避免的产能浪费。

主权项

一种真空机台的真空反应腔，其特征在于，包括：反应腔体，包括由四侧壁、一顶壁以及一底壁构成的一容纳空间；承载基板，设置在所述反应腔体的所述底壁的中部，用于承载待处理基板；以及观测窗，设置在所述反应腔体的所述侧壁上，用于观测所述反应腔体内的所述容纳空间；其中所述观测窗包括用于观测操作的透明观测玻璃，以及用于扩大所述透明观测玻璃的观测视角的视角扩大部件。