发明名称 不揮発性半導体記憶装置及びその製造方法
摘要 <p>According to one embodiment, a nonvolatile semiconductor memory device includes fin-type stacked layer structures. Each of the structures includes semiconductor layers stacked in a perpendicular direction. Assist gate electrodes are disposed in an in-plane direction and divided on a surface in the perpendicular direction of the structures.</p>
申请公布号 JP5674579(B2) 申请公布日期 2015.02.25
申请号 JP20110157158 申请日期 2011.07.15
申请人 发明人
分类号 H01L21/8247;G11C13/00;H01L21/336;H01L21/8246;H01L27/10;H01L27/105;H01L27/115;H01L29/788;H01L29/792;H01L45/00;H01L49/00 主分类号 H01L21/8247
代理机构 代理人
主权项
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