质量流量控制器以及在不关闭质量流量控制器的情况下自动调零流量传感器的方法

摘要

一种MFC，包括：比例阀；质量流量传感器；第一流量线路，其从所述比例阀的出口通过所述质量流量传感器连接到退出线路；第二流量线路，其在位于所述质量流量传感器的上游的第一接头处和位于所述质量流量传感器的下游的第二接头处接合所述第一流量线路；切换阀，其放置在所述第一接头或所述第二接头处，以接合所述第一流量线路和所述第二流量线路，使得所述切换阀能够调节通过所述第一流量线路或所述第二流量线路的气体的流量；控制设备，其与所述比例阀和所述质量流量传感器连接，以提供反馈控制回路，用于基于所述质量流量传感器所测量的信号来调节所述比例阀，其中，所述控制设备包括用于当所述流量通过所述第二流量线路时保持流量退出所述退出线路的速率基本上恒定的程序。

主权项

一种质量流量控制器，包括：比例阀，其具有连接到第一外部线路的第一端口；质量流量传感器；第一流量线路，其从所述比例阀的第二端口通过所述质量流量传感器连接到第二外部线路，其中，所述第一外部线路和所述第二外部线路中的一条是用于对流体源的连接的进入线路，而所述第一外部线路和所述第二外部线路中的另一条是退出线路；第二流量线路，其在位于所述质量流量传感器的上游的第一接头处和位于所述质量流量传感器的下游的第二接头处接合所述第一流量线路；切换阀，其放置在所述第一接头或所述第二接头处，以接合所述第一流量线路和所述第二流量线路，使得所述切换阀能够调节通过所述第一流量线路或所述第二流量线路的流体的流量；以及控制设备，其中，所述控制设备与所述比例阀和所述质量流量传感器连接，以提供反馈控制回路，用于基于所述质量流量传感器所测量的信号来调节所述比例阀，其中，所述控制设备包括用于当所述流量通过所述第二流量线路时保持流量退出所述退出线路的速率实质上恒定的程序。