低真空低温射频感性耦合等离子体反应器及其使用方法

摘要

本发明涉及一种低真空低温射频感性耦合等离子体反应器及其使用方法，包括两端用橡胶塞封住的石英玻璃管，所述石英玻璃管的上端连接有进气总管，所述进气总管分别连接有通入氩气的第一支管和通入反应气体的第二支管，所述第一支管和第二支管沿其进气方向上均依次设置有流量计和针阀，所述石英玻璃管的底部设置有与机械泵相连接的抽气管，所述石英玻璃管的底部还设置有可在石英玻璃管内上下移动的升降台，所述石英玻璃管的上部侧壁上缠绕有线圈，所述线圈与一射频电源相连接，所述射频电源与线圈之间还连接有用于调节阻抗的匹配器。本反应器用材简单，价格低廉，非常实用。

主权项

一种低真空低温射频感性耦合等离子体反应器，其特征在于：包括两端用橡胶塞封住的石英玻璃管，所述石英玻璃管的上端连接有进气总管，所述进气总管分别连接有通入氩气的第一支管和通入反应气体的第二支管，所述第一支管和第二支管沿其进气方向上均依次设置有流量计和针阀，所述石英玻璃管的底部设置有与机械泵相连接的抽气管，所述石英玻璃管的底部还设置有可在石英玻璃管内上下移动的升降台，所述石英玻璃管的上部侧壁上缠绕有线圈，所述线圈与一射频电源相连接，所述射频电源与线圈之间还连接有用于调节阻抗的匹配器。