高纯水处理装置

摘要

一种高纯水处理装置，其特征在于：包括依次经管路连接的软水箱、原水泵、保安过滤器、一级高压泵、一级RO装置、二级高压泵、二级RO装置、二级纯水箱、EDI增压泵、第一膜过滤器、EDI装置、膜脱气装置、氮封水箱、纯水泵、TOC除碳器和第二膜过滤器，所述一级RO装置和二级RO装置上均设有清洗水箱，EDI装置上还设有极水出口和浓水出口，并在浓水出口管路上安装有浓水循环泵，第一膜过滤器的出口侧连接有浓水加盐装置，所述氮封水箱上设有用于调节氮气流入的三通比例阀。本实用新型具有结构布局合理、安装维护方便的特点，制得的高纯水纯度高、出水量大，可适用于15T高纯水设备。

主权项

一种高纯水处理装置，其特征在于：包括依次经管路连接的软水箱(1)、原水泵(2)、保安过滤器(3)、一级高压泵(4)、一级RO装置(5)、二级高压泵(6)、二级RO装置(7)、二级纯水箱(8)、EDI增压泵(9)、第一膜过滤器(10)、EDI装置(11)、膜脱气装置(12)、氮封水箱(13)、纯水泵(14)、TOC除碳器(15)和第二膜过滤器(16)，所述一级RO装置(5)和二级RO装置(7)上均设有清洗水箱(17、18)，EDI装置(11)上还设有极水出口(111)和浓水出口，并在浓水出口管路上安装有浓水循环泵(20)，第一膜过滤器(10)的出口侧连接有浓水加盐装置(19)，所述氮封水箱(13)上设有用于调节氮气流入的三通比例阀(22)。