单晶炉快速清理及防爆真空管路系统

摘要

本实用新型涉及直拉硅单晶炉设备，旨在提供单晶炉快速清理及防爆真空管路系统。该单晶炉快速清理及防爆真空管路系统包括防爆泄压口、防爆清理口和快速清理口；防爆泄压口的防爆法兰能在真空管道的上端口放气口和螺栓的螺帽之间移动；防爆清理口的防爆盲板倾斜覆盖在的真空管道的前端放气口上；快速清理口包括卡箍盲板、端口法兰、O形密封圈C和链式卡箍。本实用新型的防爆泄压口与防爆清理口，当炉内压力过大时，气体压力能自动推开防爆法兰和防爆盲板，放出气体，从而增加了设备的安全性，同时防爆清理口还具有泄压功能。

主权项

单晶炉快速清理及防爆真空管路系统，设置在真空管道上，其特征在于，所述单晶炉快速清理及防爆真空管路系统包括防爆泄压口、防爆清理口和快速清理口；防爆泄压口包括防爆法兰、O形密封圈A和螺栓，防爆法兰设置在真空管道的上端口放气口，且防爆法兰的两端通过螺栓实现连接，防爆法兰能在真空管道的上端口放气口和螺栓的螺帽之间移动，O形密封圈A用于防爆法兰覆盖在真空管道的上端口放气口时，实现密封；防爆清理口包括防爆盲板、O形密封圈B、铰链座、铰链杆和铰链螺钉，真空管道的前端口法兰上固定铰链座，防爆盲板的一侧通过铰链杆和铰链螺钉铰接在铰链座上，使防爆盲板倾斜覆盖在的真空管道的前端放气口上，O形密封圈B用于防爆盲板覆盖在真空管道的前端放气口时，实现密封；快速清理口包括卡箍盲板、端口法兰、O形密封圈C和链式卡箍，链式卡箍的卡槽外宽内窄，能将卡箍盲板和端口法兰卡住，利用紧固螺栓拧紧固定在真空管道的两侧端口，O形密封圈C用于卡箍盲板覆盖在真空管道的两侧端口时，实现密封。